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XP-703D新宇宙cosmos泵吸式半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703DIII

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型號XP-703D檢測對象氣體半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等)檢測原理熱線型半導(dǎo)體式采樣方式自動吸引式可檢測濃度(單位:ppm)砷烷磷烷硅烷氫氣AsH3PH3B2H6SiH4H20
 
XP-703D新宇宙cosmos泵吸式半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703DIII的詳細(xì)資料:






型 號
XP-703D
檢測對象氣體
半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等)
檢測原理
熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷 磷烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度
10秒以內(nèi)

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